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近日,法國波爾多大學強激光與應用研究所(CELIA)的激光-物質相互作用研究小組宣布,他們使用在千兆赫 (GHz)脈沖狀態下工作的飛秒激光,開發了出一種新的玻璃微鉆孔加工方法,該方法能夠在玻璃上打造出無錐形、細長的孔,其內壁光滑,玻璃中沒有任何裂縫。
通常,用標準單飛秒脈沖激光在玻璃上打孔會形成長度有限且內表面粗糙的錐形孔。而這種新的激光-物質相互作用機制能夠直接在一個步驟中鉆出高縱橫比的孔,并且無需任何化學蝕刻。
激光脈沖參數的選擇對于獲得良好的微細加工質量是非常重要的。飛秒激光千兆赫 (GHz)脈沖模式可能為微電子學等新應用鋪平道路,在微電子學中,硅中間體很可能被玻璃中間體取代。
飛秒激光以千兆赫脈沖而不是重復的單脈沖的工作狀態,使與玻璃材料的相互作用結合了兩個優點:材料中的激光能量沉積分布在更長的時間內,從而形成高效、可控的累積狀態,而飛秒激光脈沖的出色微加工質量是守恒的。由此產生的自頂向下的沖擊鉆可得到無錐形、細長、無裂紋、內壁光滑的孔。
關于CELIA
法國強激光應用中心(Centre for Intense Lasers and Applications ,CELIA)研究方向包括激光的發展、超短強激光物質相互作用及其應用,從熱密集等離子體物理到激光-分子、激光-原子相互作用。CELIA為外部用戶提供9個設備齊全的專用端站,由3個最先進的可靠激光系統提供,包括:Ti:Sa AURORE (20 mJ, 1kHz, 25 fs)、Ti:Sa ECLIPSE (150 mJ, 10 Hz, 35 fs)和獨特的Yb:fiber BLASTBEAT (2*50W 130 fs, 0.66 -2 MHz)。